Mikrosystemtechnik - Hilleringmann, Ulrich
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Avis sur Mikrosystemtechnik de Hilleringmann, Ulrich Format Broché - Livre Physique - Chimie
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Présentation Mikrosystemtechnik de Hilleringmann, Ulrich Format Broché
- Livre Physique - Chimie
Résumé :
Dieses Lehr- und Nachschlagebuch erl?utert die grundlegenden Prozessschritte der Mikrotechnologien f?r Elektronik, Mechanik und Optik. Darauf aufbauend folgen die Verkn?pfungen der Einzelprozesse zur Mikrosystemtechnik. Die m?glichen Schnittstellen Mechanik/Elektronik, Optik/Elektronik und Optik/Mechanik werden anhand konkreter mikrosystemtechnischer Bauelemente vorgestellt. Die jeweiligen Vorteile der Oberfl?chenmikromechanik und der Bulk-Mikromechanik werden anhand der erforderlichen Prozesstechnik zur Integration mikrosystemtechnischer Sensoren und Aktoren diskutiert und bez?glich ihrer Kompatibilit?t zur Mikroelektronik bewertet.
Biographie:
Prof. Dr.-Ing. Ulrich Hilleringmann ist Leiter des Fachgebietes Sensorik an der Universit?t Paderborn und lehrt Halbleitertechnologie, Messtechnik, Sensorik und Prozessmesstechnik....
Sommaire:
Der Begriff 'Mikrosystemtechnik' - Aufbau eines Mikrosystems - Prozesstechnik - Basisprozesse der Mikrosystemtechnik - Sensor- und Aktoreffekte - Anwendungen der Mikrosystemtechnik - Hybride Systeme
Détails de conformité du produit
Personne responsable dans l'UE