Wafer Fabrication - Zhang, Jie

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Livre Sciences de la vie et de la terre - Zhang, Jie - 01/09/2018 - Relié - Langue : Anglais

Auteur(s) : Zhang, Jie

Editeur : De Gruyter, Walter, Gmbh

Langue : Anglais

Parution : 01/09/2018

Format : Moyen, de 350g à 1kg

Nombre de pages : 284

Expédition : 665

Dimensions : 24.6 x 17.5 x 2.1

ISBN : 9783110486902

Résumé :
This book systematically introduces modeling, performance evaluation and applications of Automatic Materiel Handling System (AMHS) in semiconductor manufactucing, and focuses discussion on the coordination of two subsystems. Resources dispatch and optimization are conducted on operational research combined with cases studies. Written in a practical way, it is an essential reference for researchers and engineers in manufacturing and management.

Biographie:
Jie Zhang, Shanghai Jiaotong University, Shanghai, China

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