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Run-To-Run Control In Semiconductor Manufacturing - A.M., Hurwitz

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        . .

      • Auteur(s) : A.M., Hurwitz - James Moyne - Duane Boning - D, Enrique
      • Editeur : Taylor & Francis Ltd
      • Parution : 31/12/1999
      • Format : Moyen, de 350g à 1kg
      • Expédition : 617
      • ISBN : 0849311780



      • Résumé :
        Run-to-run (R2R) control is cutting-edge technology that allows modification of a product recipe between machine runs, thereby minimizing process drift, shift, and variability-and with them, costs. Its effectiveness has been demonstrated in a variety of processes, such as vapor phase epitaxy, lithography, and chemical mechanical planarization. The only barrier to the semiconductor industry's widespread adoption of this highly effective process control is a lack of understanding of the technology. Run to Run Control in Semiconductor Manufacturing overcomes that barrier by offering in-depth analyses of R2R control....

        Sommaire:
        James Moyne, Enrique del Castillo, Arnon M. Hurwitz...

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