Microsensors, Mems, and Smart Devices - Awadelkarim, Osama O
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Résumé :
Smart Devices sind gefragt: Ob es um intelligente Wandverkleidungen zur L?rmdemmung in Hubschraubern oder um sprechende Etiketten von Nahrungsmitteln geht, mitdenkende Ger?te k?nnten uns das Leben in vielen Bereichen erleichtern. Die Autoren dieses Buches beschreiben einerseits die Herstellung intelligenter Sensoren und andererseits deren Verkn?pfung mit speziellen Stellgliedern zu mikroelektromechanischen Systemen, von deren M?glichkeiten der Leser einen umfassenden Eindruck erh?lt.
Sommaire:
Introduction Electronic Materials and Processing MEMS Materials and their Preparation Standard Microelectronic Technologies Silicon Micromachining:Bulk Silicon Micromachining: Surface Microstereolithography for MEMS Microsensors Introduction to SAW Devices Surface Acoustic Waves in Solids IDT Microsensor Parameter Measurement IDT Microsensor Fabrication IDT Microsensors MEMS-IDT Microsensors Smart Sensors and MEMS Appendices Index
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