Mikromechanik - Büttgenbach, Stephanus
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Résumé :
1 Bedeutung und Inhalte der Mikromechanik.- 2 Werkstoffe der Mikromechanik.- 3 Reinraumtechnik.- 4 Technologie der Mikromechanik.- 5 Me?methoden.- 6 Anwendungen der Mikromechanik.- 7 Mikrosystemtechnik....
Biographie:
?Prof. Dr. Stephanus B?ttgenbach is a professor emeritus at the Institute of Microtechnology, Technische Universit?t Braunschweig, Germany. His fields of research are silicon micromachining, quartz technology, MEMS-CAD, microactuators, microsensors, lab-on-chip systems, and microreactors. Prof. Dr. Iordania Constantinou is a junior professor at the Institute of Microtechnology, Technische Universit?t Braunschweig, Germany. Her fields of research include amorphous semiconductors, organic electronics, micro- and nanosensors, and microfluidics. Prof. Dr. Andreas Dietzel is a professor at the Institute of Microtechnology, Technische Universit?t Braunschweig, Germany. His fields of research include systems in foil, laser microstructuring, point-of-care systems, MagMEMS, MEMS simulation, and the design and fabrication of microfluidic systems with applications in life sciences. Dr.-Ing. Monika Leester-Sch?del is an academic senior councilor at the Institute of Microtechnology, Technische Universit?t Braunschweig, Germany. Her special fields of work are micromechatronics, sensor systems for aerospace, and microactuators. ...
Sommaire:
1 Bedeutung und Inhalte der Mikromechanik.- 2 Werkstoffe der Mikromechanik.- 3 Reinraumtechnik.- 4 Technologie der Mikromechanik.- 5 Me?methoden.- 6 Anwendungen der Mikromechanik.- 7 Mikrosystemtechnik.
Détails de conformité du produit
Personne responsable dans l'UE