Ion Implantation in Microelectronics - Agajanian, A. H.
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Avis sur Ion Implantation In Microelectronics Format Broché - Livre Encyclopédies, Dictionnaires
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Présentation Ion Implantation In Microelectronics Format Broché
- Livre Encyclopédies, Dictionnaires
Sommaire:
I. Bibliographies.- II. Books and Symposia.- III. Review Articles.- IV. Theory.- V. Materials.- 1. General.- 2. Group IV Semiconductors.- 3. Group III-V Semiconductors.- 4. Group II-VI Semiconductors.- 5. Dielectric Thin Films.- 6. Metals and Alloys.- 7. Others.- VI. Device Applications.- 1. General.- 2. p-n Junctions.- 3. Diodes.- 4. Bipolar Transistors.- 5. Field-Effect Transistors.- 6. Resistors.- 7. Detectors.- 8. CCD.- 9. Si-SiO2 Structures.- 10. Solar Cells.- 11. Bubble Devices.- 12. Others.- VII. Equipment.- 1. Accelerator/Implantor Systems.- 2. Ion Source/Extractor.- 3. Beam Transport/Focusing/Scanning.- 4. Beam Target Systems/Profiling/Dosimetry.- 5. Micro Ion Beams.- 6. Miscellaneous.- Author Index.
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