Fundamental Electron Interactions with Plasma Processing Gases - Christophorou, Loucas G.
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Avis sur Fundamental Electron Interactions With Plasma Processing Gases Format Broché - Livre Encyclopédies, Dictionnaires
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Présentation Fundamental Electron Interactions With Plasma Processing Gases Format Broché
- Livre Encyclopédies, Dictionnaires
Sommaire:
1. Fundamental Electron-Molecule Interactions and their Technological Significance.- 1 Introduction.- 2 Low Energy Electron-Molecule Interaction Processes.- 3 Significance of Electron-Molecule Interactions in Plasma Processing.- 4 The Present Work.- 5 References.- 2. Electron-Molecule Interactions in the Gas Phase: Cross Sections and Coefficients.- 1 Introduction.- 2 Collision Cross Sections.- 3 Coefficients and Rate Constants.- 4 Boltzmann-Code-Generated Collision Cross-Section Sets.- 5 References.- 3. Synthesis and Assessment of Electron Collision Data.- 1 Introduction.- 2 Synthesis, Assessment, and Recommendation of Data.- 3 Deduction of Unavailable Data and Understanding from Assessed Data, New Measurements, and Data Needs.- 4 Dissemination and Updating of the Database.- 5 References.- 4. Electron Interactions with CF4, C2F6, AND C3F8.- 1 Introduction.- 2 Electron Interactions with CF4.- 3 Electron Interactions with C2F6.- 4 Electron Interactions with C3F8.- 5 References.- 5. Electron Interactions with CHF3, CF3I, AND c-C4F8.- 1 Introduction.- 2 Electron Interactions with CHF3.- 3 Electron Interactions with CF3I.- 4 Electron Interactions with c-C4F8.- 5 References.- 6. Electron Interactions with Cl2, CCl2F2, BCl3, AND SF6.- 1 Introduction.- 2 Electron Interactions with Cl2.- 3 Electron Interactions with CCl2F2.- 4 Electron Interactions with BCl3.- 5 Electron Interactions with SF6.- 6 References.
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