Understanding Key Molecular Properties in a CVD Process Feasibility Study - Claessen, Rolf
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Présentation Understanding Key Molecular Properties In A Cvd Process Feasibility Study Format Broché
- Livre Physique - Chimie
Résumé :
Dieses Buch untersucht das Grundprinzip des Designs von Vorl?ufermolek?len f?r CVD Prozesse. Der Effekt von molekularen Eigenschaften dieser Molek?le auf den CVD Prozess wird sowohl experimentell als auch theoretisch erforscht. Eine neuartige Klasse von Liganden und resultierenden Komplexen wird als Beispiel f?r ma?geschneiderte Vorl?ufermolek?le f?r CVD Prozesse demonstriert. Haupteigenschaften wie z.B. thermische Zersetzung und Fl?chtigkeit k?nnen unabh?ngig eingestellt werden und auf den indiviuellen CVD Prozess abgestimmt werden. This book examines the rationale of precursor design for a CVD (Chemical Vapor Deposition) process. The effect of molecular properties on the CVD process outcome is investigated experimentally and computationally. A novel class of ligands and resulting complexes is demonstrated as an example of tailormade precursors for CVD processes. Key properties such as thermal decomposition and volatility are shown to be independently tunable and can be adjusted to the individual process needs
Biographie:
Born 1972 in Cologne, Rolf Claessen received his Ph.D. in 2002 for his work on precursor design for CVD processes. He can be reached via email at books@claessen.net Additional information and data may be obtained online at www.claessen.net/books.
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