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Avis sur Silizium - Halbleitertechnologie de Hilleringmann, Ulrich Format Broché - Livre Littérature Générale
0 avis sur Silizium - Halbleitertechnologie de Hilleringmann, Ulrich Format Broché - Livre Littérature Générale
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Présentation Silizium - Halbleitertechnologie de Hilleringmann, Ulrich Format Broché
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Résumé :
Das Lehrbuch behandelt die Grundlagen und die technische Durchf?hrung der Einzelprozesse zur mikroelektronischen Schaltungsintegration in der Silizium-Halbleitertechnologie. Die Integrationstechnik setzt sich aus einer Vielzahl von sich wiederholenden Einzelprozessen zusammen, deren Durchf?hrung und apparative Ausstattung extremen Anforderungen gen?gen m?ssen, um die geforderten Strukturgr??en bis zu wenigen Nanometern gleichm??ig und reproduzierbar zu erzeugen. Das Zusammenspiel der Oxidationen, ?tzschritte und Implantationen zur Herstellung von MOS- und Bipolarschaltungen werden - ausgehend vom Rohsilizium bis zur gekapselten integrierten Schaltung - aus Sicht der Prozessf?hrung erl?utert. Moderne 3D-Bauformen f?r Feldeffekttransistoren runden den Inhalt ab. ...
Biographie:
Sommaire:
Das Lehrbuch behandelt die Grundlagen und die technische Durchf?hrung der Einzelprozesse zur mikroelektronischen Schaltungsintegration in der Silizium-Halbleitertechnologie. Die Integrationstechnik setzt sich aus einer Vielzahl von sich wiederholenden Einzelprozessen zusammen, deren Durchf?hrung und apparative Ausstattung extremen Anforderungen gen?gen m?ssen, um die geforderten Strukturgr??en bis zu wenigen Nanometern gleichm??ig und reproduzierbar zu erzeugen. Das Zusammenspiel der Oxidationen, ?tzschritte und Implantationen zur Herstellung von MOS- und Bipolarschaltungen werden - ausgehend vom Rohsilizium bis zur gekapselten integrierten Schaltung - aus Sicht der Prozessf?hrung erl?utert. Moderne 3D-Bauformen f?r Feldeffekttransistoren runden den Inhalt ab. ...
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