Silizium-Halbleitertechnologie de Hilleringmann, Ulrich Format Broché

Silizium-Halbleitertechnologie - Hilleringmann, Ulrich

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Livre Littérature Générale - Hilleringmann, Ulrich - 01/10/2023 - Broché - Langue : Allemand

Auteur(s) : Hilleringmann, Ulrich

Editeur : Springer Fachmedien Wiesbaden Gmbh

Langue : Allemand

Parution : 01/10/2023

Format : Moyen, de 350g à 1kg

Nombre de pages : 324

Expédition : 546

Dimensions : 24.0 x 16.8 x 1.8

ISBN : 9783658423773

Résumé :
Das Lehrbuch behandelt die Grundlagen und die technische Durchf?hrung der Einzelprozesse zur mikroelektronischen Schaltungsintegration in der Silizium-Halbleitertechnologie. Die Integrationstechnik setzt sich aus einer Vielzahl von sich wiederholenden Einzelprozessen zusammen, deren Durchf?hrung und apparative Ausstattung extremen Anforderungen gen?gen m?ssen, um die geforderten Strukturgr??en bis zu wenigen Nanometern gleichm??ig und reproduzierbar zu erzeugen. Das Zusammenspiel der Oxidationen, ?tzschritte und Implantationen zur Herstellung von MOS- und Bipolarschaltungen werden - ausgehend vom Rohsilizium bis zur gekapselten integrierten Schaltung - aus Sicht der Prozessf?hrung erl?utert. Moderne 3D-Bauformen f?r Feldeffekttransistoren runden den Inhalt ab. ...

Biographie:

Prof. Dr.-Ing. Ulrich Hilleringmann leitet das Fachgebiet Sensorik an der Universit?t Paderborn und lehrt Halbleitertechnologie, Mikrosystemtechnik, Sensorik und Prozessmesstechnik.

...

Sommaire:

Herstellung von Siliziumscheiben.- Oxidation des dotierten Siliziums.- Lithografie.- ?tztechnik.- Dotiertechniken.- Depositionsverfahren.- Metallisierung und Kontakte.- Scheibenreinigung.- MOS-Technologien zur Schaltungsintegration.- Erweiterungen zur H?chstintegration.- ...

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Silizium-Halbleitertechnologie - Hilleringmann, Ulrich

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